《TiO_2和SiO_2薄膜应力在线测量与研究》PDF+DOC
作者:冷健,薛维,喻志农,卢维强,王华清,张东璞
单位:中国真空学会
出版:《真空科学与技术学报》2011年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKKX2011040170
DOC编号:DOCZKKX2011040179
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于哈特曼原理的薄膜应力在线测量系统》PDF+DOC2009年第01期 王华清,薛唯,卢维强,李夏,张楠
《SrTi_(1-x)Mg_xO_(3-δ)薄膜的氧敏特性》PDF+DOC1999年第02期 贾维国,丁铁柱,郭俊平
《红外反射法测量薄膜构件的膜厚》PDF+DOC1996年第S1期 王东生,阳运平
《薄膜氧敏材料的特性研究》PDF+DOC1994年第05期 李蓉萍,丁铁柱
《TiO_2-KTaO_3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究》PDF+DOC2007年第05期 冯庆,王新强,杨晓红,刘高斌
《表面波方法表征纳米多孔SiO_2薄膜机械特性的对准技术》PDF+DOC2005年第02期 肖夏,张鑫慧,姚素英
《超高压力传感器绝缘封装薄膜的工艺研究》PDF+DOC2004年第12期 崔红玲,杨邦朝,杜晓松,滕林,周鸿仁
《蓝宝石光纤端面上ZnO薄膜的制备及其温变光学特性》PDF+DOC 隋成华,蔡萍根,许晓军,陈乃波,魏高尧,周红
《乙醇气敏传感器及敏感度测试》PDF+DOC2006年第03期 来五星,王聪,李晓平,史铁林
《瞬态薄膜热电传感器的新技术研究》PDF+DOC2013年第12期 邬云晨明,杨遂军,于方舟,叶树亮
研究了离子能量在薄膜制备过程中对TiO2和SiO2薄膜应力的影响。用电子束蒸发的方法制备TiO2和SiO2薄膜,使用实验室自行设计制作的基于哈特曼传感器的薄膜应力仪在线监测TiO2和SiO2薄膜应力随膜厚的变化。结果表明,离子辅助沉积的TiO2薄膜张应力值要比传统工艺低40 MPa,并且随着离子能量的增加,薄膜逐渐由张应力变为压应力,薄膜的最大折射率为2.56;而离子辅助的溅射效应在制备SiO2薄膜时比较明显,传统工艺制备的SiO2薄膜表现为压应力,而用离子辅助的方法制备的SiO2薄膜表现为张应力,并且随着离子能量的增加,薄膜变得疏松,折射率逐渐降低。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。