作者：韩建栋,徐爱东 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2011年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2011060050 DOC编号：DOCBDTJ2011060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene)。首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程；接着对其特性进行了较全面阐述，该材料具有良好的物理和机械性能，具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点，并将其综合性能和其他常用涂层性能进行了比较。介绍了Parylene涂层在MEMS领域、电子行业、医疗器械以及文物保护方面的应用，及其在微电子领域的应用前景。

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