《反应溅射镀膜的等离子体发射控制系统设计》PDF+DOC
作者:肖劲宇,和军平
单位:中国计算机自动测量与控制技术协会
出版:《计算机测量与控制》2011年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJZCK2011070280
DOC编号:DOCJZCK2011070289
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介绍了一种基于Allen-Bradley可编程控制器的等离子体发射监控闭环控制系统;在介绍溅射镀膜工作原理的基础上,分析了影响镀膜性能的多个因素,提出了等离子体发射监控反应溅射镀膜的控制方案;进而,具体介绍了等离子体发射监控系统的传感器、执行器的结构与设计,并进行了PLC-PID控制软件的编程,实现了快速、稳定的控制功能,使反应溅射镀膜工作均匀;实际运行证明了本等离子发射监控设计合理性,可制备氮化钛、氧化钛化合物薄膜,具有良好的推广价值。
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