作者：宋小鹏,张丛,赵玉林,尹彦梅,石归雄,薛晨阳 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2011年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2011060230 DOC编号：DOCYDSG2011060239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析，通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响，理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试，测出x向灵敏度为0.683mV/g(其中g为重力加速度)，y向灵敏度为0.755mV/g，两个方向上灵敏度相对误差为9.5%，与仿真结果接近。

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