作者：张紫辰,董恺琛,张益源,王建中,赵嘉昊,尤政 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》2015年第10期 页数：15页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU2015100320 DOC编号：DOCDZXU2015100329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统(“智能灰尘”，Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域；随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成；通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势，以及国内外相关技术的发展现状，最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点，并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案。

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