作者：盖竹秋,程志峰 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2011年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2011120200 DOC编号：DOCGXJM2011120209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高钢圈反射式光栅的测量精度，设计了光栅信号补偿系统，分别对光栅信号的幅值、直流电平和相位进行了补偿，补偿后两路光栅信号的正交性得到了改善。首先，根据钢圈反射式光栅提取信号的方式建立光栅信号电子学处理系统。然后，分别从幅值、直流电平和相位等3方面提出系统的补偿算法。以8 192lp/mm的钢圈反射式光栅为平台，以实际的精度检测结果为评判依据，对提出的信号补偿系统进行了实验验证。结果表明，补偿后的光栅精度比补偿前提高了2.28″，提高幅度达到50%。实验结果验证了光栅信号补偿方案的可行性。

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