作者：孙冰,程东升,田丰,高金雍,齐景爱 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2014年第09期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2014090010 DOC编号：DOCCGSJ2014090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在陶瓷管上用Ti O2溅射法研制纳米薄膜乙醇传感器，同时作了机理分析。利用X射线衍射技术分析确定，在利用溅射法制备Ti O2纳米薄膜时，随着退火温度的提高，所形成的Ti O2薄膜晶体结构由无定型结构，向锐钛矿结构转变，随后又随温度升高逐渐转向金红石结构。晶粒大小随着退火温度的升高而增大，分别为13nm(500℃)、16nm(700℃)、28nm(1100℃)。经500℃退火的样品为锐钛矿晶体结构，晶粒尺寸为13nm，其乙醇灵敏度特性最好。此时元件的最佳加热工作电压8.0V，对应的工作温度为370℃。利用红外光谱测定，反应的生成物中有H2O、CH3CHO、C2H4，分别对应1694cm-1、1756cm-1和1720cm-1的红外吸收峰。但在反应生成物中，没有发现有乙酸产生。

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