作者:王巍,王晓磊,代作海,王颖 单位:中国电子质量管理协会;信产部第五研究所 出版:《电子质量》2011年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZZN2011020050 DOC编号:DOCDZZN2011020059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同。制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试。结果表明,TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化。

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