《不同金属掺杂对TiO_2薄膜氧敏性能影响》PDF+DOC
作者:王巍,王晓磊,代作海,王颖
单位:中国电子质量管理协会;信产部第五研究所
出版:《电子质量》2011年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZZN2011020050
DOC编号:DOCDZZN2011020059
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该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同。制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试。结果表明,TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化。
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