作者：吴志强,印娟,朱欣华 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》2015年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB2015090240 DOC编号：DOCZDYB2015090249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对MEMS传感器人工测试、筛选存在的工作效率低、易出错等缺点，设计了一种MEMS电容式加速度计嵌入式自动化测试系统。系统主要由嵌入式多通道数据采集模块及上位机组成，两者通过USB接口进行通信。为提高测试效率，嵌入式数据采集模块采用微控制器控制4片菊花链方式级联的ADS1278，实现32通道模拟输出的同步采样。经测试，各通道有效分辨率均优于21 bits，满足系统设计指标要求。应用虚拟仪器技术设计了应用软件。实测结果表明该系统可大大提高MEMS传感器测试、筛选的效率。

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