作者：刘细宝,张国军,薛晨阳,许姣,王晓瑶,于佳琪,李辉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011060120 DOC编号：DOCCGJS2011060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在MEMS矢量水听器现有结构的基础上，设计出一种新型弹簧减震结构，期望利用该结构提高水听器抗噪能力。根据Ansys有限元仿真，确定出该弹簧的几何尺寸、劲度系数(k≈5 N/m)及弹簧的所在位置——弹簧设置为内外圈相互垂直的两对。仿真结果表明，该减震结构抑制流噪声能力可提高3倍以上，同时几乎不影响水听器的接收灵敏度。该芯片级弹簧减震结构具有一次集成、一致性好、易于组阵、工程应用方便等特点。

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