《MEMS发展应用现状》PDF+DOC
作者:王多
单位:中国吉林高新技术人才市场
出版:《才智》2011年第22期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCAIZ2011220610
DOC编号:DOCCAIZ2011220619
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《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC2000年第08期 梁静秋
《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC2002年第03期 吴雄
《MEMS传感器在汽车中的应用及发展》PDF+DOC2008年第03期 刘成刚
《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC2000年第02期 李荣,罗庆生
《集成微光机电系统研究现况及其产业化前景》PDF+DOC2000年第01期 王跃林,王渭源
《微机械在信息仪器中的应用》PDF+DOC1996年第04期 高晓萍
《微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用》PDF+DOC1994年第03期 汪宝宁
《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧
《《传感器与微系统》总目次》PDF+DOC2009年第12期
《基于微加速度计的易碎物品运输监测微系统设计》PDF+DOC2008年第03期 马保政,娄文忠,于秀丽,余艳萍,刘晓松
随着硅材料微制造技术的迅速发展,早在20实际70年代末期斯坦福大学就开发出硅微加工的气象色谱仪,随后人们又提出了制造微传感器、微处理器的构。
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