作者：万真真,李小佳,王永清,孙荣霞,施宁 单位：中国光学学会 出版：《光谱学与光谱分析》2011年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGUAN2011040700 DOC编号：DOCGUAN2011040709 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用辉光放电光谱仪进行物质表面深度分析时，样品溅射深度是重要的分析信息。本文设计了一种新型Grimm辉光放电光源，此光源与激光位移测距传感器构成的测量系统可对样品溅射深度进行实时测量，并保证了良好的辉光溅射效果和分辨多层结构及界面的能力。采用激光三角测量技术，在辉光光谱分析的同时对溅射深度进行实时测量，能够有效地解决传统深度分析方法中步骤繁琐以及对深度估算不准确等问题。本光源采用光纤将辉光光谱信号从光源传至多道分光光电检测系统，在结构上首次实现了元素光谱信号和溅射深度信号的实时采集及基于时间的同步分析，对标准样品得到了理想的实时溅射深度测量曲线。本文详细介绍了此新型辉光放电光源的设计思路和工作原理。本辉光放电光源具有良好的深度分辨率，在30 mA，900 V，20 min的溅射条件下，对铁基和铜基样品的溅射速率分别约为10和55 nm.s-1，文中给出了样品的溅射坑表面形貌图和溅射坑显微照片。对中低合金钢标准样品进行了分析精密度实验，分析精度良好，其中C，Cu，Al，Ni，Mo，Mn，V元素相对标准偏差(RSD)均小于1.7%，Cr和Si元素RSD小于2......。

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