作者：杨丹琼,徐静,钟少龙,李四华,吴亚明 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011100070 DOC编号：DOCYBJS2011100079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺，利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿，梳齿数目达200对，提高了初始电容，能够充分利用尺寸空间，获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装，也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求。器件采用三层材料，利用硅-玻璃键合和BCB键合实现，能够有效提高成品率，并给出了成功流片后得到的SEM照片。最后，对器件进行了频谱响应曲线的测试，测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95。测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺，降低了成本，同时得到提高了Q值，能够降低热机械噪声。

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