《集成阻抗识别的介电泳芯片设计及其关键工艺》PDF+DOC
作者:许静,赵湛,刘泳宏
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2011年第11期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2011110000
DOC编号:DOCYBJS2011110009
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以微粒的阻抗识别为目的,设计出一种三维网格阵列微电极传感器。传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上。首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域,再通过阻抗信号描述微粒特性。针对芯片关键区域,提出了调节SU8曝光时间以提高阻抗测试有效信号的工艺解决方案。实验表明,SU8最佳曝光时间为70 s.对芯片性能的相关实验表明,芯片可对不同直径的乳胶微粒进行介电泳分离与阻抗识别。
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