《基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法》PDF+DOC
作者:马立,欧阳航空,荣伟彬,何正峰,孙立宁
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2011年第10期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2011100250
DOC编号:DOCYQXB2011100259
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《液压传动机构的位姿检测方法探究》PDF+DOC2017年第10期 张劲,周益军
《液压传动机构位姿检测方法分析》PDF+DOC2017年第09期 李宇
《基于双向激光回环检测的SLAM算法研究》PDF+DOC2017年第20期 郑雪鹤,孙作雷
《ZnO镀膜光纤传感器参数与反射系数作用机理研究》PDF+DOC2019年第09期 刘奇,周力
《多晶硅表面微机械光学角速率传感器》PDF+DOC2000年第03期 郑露滴
《基于位移传感器LVDT的信号断线故障检测》PDF+DOC2011年第12期 王丹麟,马伟东,杨昕霖
《面向光学精密装配的微操作机器人》PDF+DOC2009年第02期 马立,荣伟彬,孙立宁,龚振邦
《高Q值光学微球腔的温度系数研究》PDF+DOC2015年第03期 商成龙,唐军,皮海龙,张伟,谢成峰,张天恩,雷龙海,王明焕,郭泽彬,张斌珍,刘俊,薛晨阳,张文栋
针对光学精密装配工艺特点,提出一种基于LVDT的三维相对位姿检测方法。采用4个对称分布的LVDT检测光学装配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系,根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统,通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0.1μm,重复检测精度为±;0.3μm,并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明:当球面镜的加工及安装误差在允许范围内时,位姿检测系统可以在25 s内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整,最大距离误差为0.5μm,最大角度误差为8″,充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。