作者： 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2011年第10期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2011100230 DOC编号：DOCDGZS2011100239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)、纳米技术与半导体晶圆接合与微影技术设备领导厂商EVGroup(EVG)，日前宣布推出旗下经业界验证与肯定的GeminiFB融合接合机系列之全新旗舰机型。该全新机型的产出量可高达每小时20片晶圆，其中升级部份包含加强型自动化功能，可让客户将背照式(BSI)CMOS影像传感器，CMOS影像传感器3D堆栈封装，以及整体式内存组件3D堆栈封装等应用之产出量提升至更高水平。

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