《化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法》PDF+DOC
作者:赵建伟,路新春,何永勇
单位:华中科技大学
出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》2012年第S2期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHZLG2012S20040
DOC编号:DOCHZLG2012S20049
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针对化学机械抛光装备中晶圆位置变化时传输机器人无法有效进行抓取的问题,提出了一种化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法.机械手在对化学机械抛光设备工位上晶圆进行抓取时,使用先进的红外传感器测量晶圆位置和偏差,并进行实时位置补偿,从而实现机械手对工位上晶圆抓取的自适应能力,提高了化学机械抛光装备效率和可靠性.仿真实验验证了系统的有效性。
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