作者:马云峰,郑浩峻,程智锋,姚望 单位:辽宁省机械研究院 出版:《机械设计与制造》2011年第07期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJSYZ2011070760 DOC编号:DOCJSYZ2011070769 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 三维轮廓扫描仪是广泛应用于微纳表面三维形貌测量的高精度设备。基于白光共焦测量技术,提出了非接触式三维轮廓扫描仪设计方案和工作原理。扫描仪由精密扫描工作台、测量系统、光学辅助系统及控制系统组成。试制的扫描仪样机垂直测量范围为(20~400)μm,分辨率10nm,水平测量范围(100×100)mm,分辨率小于1μm。实验表明,该扫描仪可实现二维轮廓曲线和三维形貌测量,具有精度高、非接触、测量快速和测量范围宽等特点,对于实现高精度非接触式三维轮廓测量具有较高的实用价值。

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