作者：王玲 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2011年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2011020190 DOC编号：DOCBDTQ2011020199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 技术3D减薄工艺和超薄芯片应对技术挑战晶圆减薄晶圆研磨和抛光工艺要达到一定要求，需采用耐用性较好的晶圆支架(晶圆盒)，表1所示数据为富士通对在玻璃支架上完成研磨和抛光工艺后的晶圆测得的数据

    📙 相关资料

    1. 《物联网产业视点》PDF+DOC (2017年2月)2月2日触觉传感器让机器人的“皮肤”拥有感觉2月2日，KAIST公布了研究报告，研究团队由教授金真(Kim Jung)和Park In-kyu领导，他们开发了机器人触觉传感器，可以大幅提高耐用性，侦测触摸感。目前机器人的视觉、听觉感知技术与人类感知能力接近，但机器人的触感存在限制，......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。