《MEMS技术发展及应用优势》PDF+DOC
作者:王勇
单位:北京市海鹰科技情报研究所
出版:《飞航导弹》2011年第05期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFHDD2011050250
DOC编号:DOCFHDD2011050259
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叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统(microe-lectro mechanical system,MEMS)技术特点,介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品,阐述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状,分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上应用优势。
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