作者：杨丹琼,陈志龙,徐静,钟少龙,李四华,吴亚明 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2011年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2011110280 DOC编号：DOCCGQJ2011110289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法，利用MEMS体硅加工工艺，实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性，其理论热机械噪声为0.018μg/槡Hz。加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06，与理论分析结果相符，具有较低的热机械噪声。

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