作者：陈伟平,陈晓亮,郭玉刚,刘晓为 单位：中北大学 出版：《中北大学学报(自然科学版)》2011年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGG2011040230 DOC编号：DOCHBGG2011040239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于SOG(Silicon on Glass)工艺设计了一种新型电容式加速度传感器结构，分析了该结构的检测和反馈原理.为了提高闭环微加速度传感器的性能，更好地实现闭环控制调节作用，对传感器系统进行了研究.在反馈系统中引入PID控制器，并建立了SIMLINK系统模型，分析了系统闭环传递函数以及控制参数对传感器系统的影响.仿真结果表明：PID控制器可以很好地改善系统的频率响应，增加系统带宽，调节系统的阻尼，减小系统的响应时间和调节时间，大大提高了闭环加速度计的性能。

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