作者：程鑫,周云飞,胡永兵,王耀 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2011年第19期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2011190120 DOC编号：DOCZGJX2011190129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对光刻机工作台多维纳米级同步运动，提出一种基于光纤链路的同步测控机制，实现了针对各运动轴控制指令执行和传感数据采集的严格同步；为每个运动控制器与其测控单元之间设计了独占的高速数据通道，确保测控的实时性；设计了基于内部总线的同步周期触发，定义了一致的传感器、执行器单元执行时序，以及精确光纤链路数据传输模型，确保测控的高同步性。实验结果表明，该测控机制的总体输出延迟小于0.65μs，同步误差小于20ns，若提高光纤链路速率，能进一步提升同步测控性能。

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