《基于PVDF薄膜的流场动态压力检测方法的研究》PDF+DOC
作者:阮晓东,巴静,陈晖,陈文昱,傅新
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2011年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2011070160
DOC编号:DOCCGQJ2011070169
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针对检测狭小空间流场压力时,通用液体压力传感器存在体积大、频响低以及干扰流场等问题,提出一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流场动态压力检测方法,该方法采用光刻工艺直接在敷镀有金属铝电极的PVDF薄膜上制作压力传感元件,该元件具有面积小、厚度薄、柔韧性好的特点,非常适合于狭小流场空间壁面压力分布的测量。试验研究表明:该方法特别适用于检测流场微小的压力波动,线性度误差为±;2.3%,输出灵敏度为1.32mV/Pa。
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