作者：莫冰,郑琦,刘晓为,陈斯浩 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2011年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2011040290 DOC编号：DOCMINI2011040299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在静电驱动电容式微机械陀螺传感器结构的基础上，对寄生Coriolis力进行受力分析，建立了寄生Coriolis力的等效电学模型。比较分析了理想情况下微机械陀螺的等效电学模型以及包含寄生Coriolis力的等效电学模型，结果表明，对于静电驱动电容式微机械陀螺，寄生Coriolis力并不改变有用信号的频率及相位，对其峰峰值的衰减程度小于0.2‰。

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