作者：李晶,樊尚春,李成,余朝发 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2011年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2011120030 DOC编号：DOCCGQJ2011120039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器，是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点，己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状，并对加工工艺进行了总结，讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素，并给出了未来的发展方向。

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