作者：严宇才,张端 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2011年第04期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2011040020 DOC编号：DOCDGZS2011040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程，着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用，其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究，最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。

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