作者:卢歆,何明轩,李源,傅云霞,汪红 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2011年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2011120300 DOC编号:DOCCGQJ2011120309 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。

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