作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2015年第08期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2015080130 DOC编号：DOCCGSJ2015080139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 发展用于高端领域的质优价廉的高性能气敏器件，一直是人们所追求的目标与面临的挑战。上海微系统与信息技术研究所的一个研究小组提出了一种微纳融合的策略，将基于有机模板的微/纳结构有序多孔薄膜与基于微电子机械加工(MEMS)技术的微型基板相结合，成功地研制出高性能电阻型薄膜气敏器件，产品具有秒级响应、痕量检测功能强，10mW级低功耗等优越性能，并在沙林检测上实现了目前已报导的

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