《二维精密工作台测量系统设计》PDF+DOC
作者:郝敏
单位:中国科技新闻学会
出版:《硅谷》2011年第17期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGGYT2011170670
DOC编号:DOCGGYT2011170679
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提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。
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