作者:郝敏 单位:中国科技新闻学会 出版:《硅谷》2011年第17期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGGYT2011170670 DOC编号:DOCGGYT2011170679 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。

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