作者：熊磊,焦继伟,葛道晗,宓斌伟,张轩雄 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011080020 DOC编号：DOCYBJS2011080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件，具有高度对称的中空圆盘结构，以谐振的方式工作于简并/解并模态，能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体，腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸附前后的模态及频率分裂进行仿真，计算结果显示对质量的测量灵敏度达pg量级。采用MEMS双牺牲层工艺方法成功制作出具有双层结构的空心圆盘谐振器。

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