作者：杨永生 单位：广西机械工程学会 出版：《装备制造技术》2011年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJX2011080040 DOC编号：DOCGXJX2011080049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用，重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。

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