作者：贾水英,杨建红,谢宏伟,蔡雪原,吴承龙 单位：东南大学 出版：《电子器件》2011年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2011030030 DOC编号：DOCDZQJ2011030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC2009年第12期 崔千红,杨子健,韦波,杨建红 《基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器》PDF+DOC2009年第10期 韦波,杨子健,王劲松,杨建红 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC1997年第05期 孙承松,周立军,李云鹏 《湿度传感器的新进展》PDF+DOC1993年第04期 骆如枋 《聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制》PDF+DOC1993年第01期 骆如枋,陆玉萍,边伟勇,朱庆杨,陈羽男,李晓红,张建安 《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC2005年第07期 陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明 《CMOS工艺兼容的温湿度传感器》PDF+DOC2005年第07期 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳 《聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红 《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红

    • 报道了采用标准CMOS工艺制作的格栅型上电极的电容型湿度传感器，采用高分子材料聚酰亚胺作为感湿介质，铝作为金属电极。对该湿度传感器的器件结构、制作工艺和传感器特性，如灵敏度、湿滞以及响应时间等进行了讨论。测试结果表明，在12%~92%的湿度范围内，电容-相对湿度曲线具有良好的线性度，灵敏度为0.9 pF/RH，响应时间为5.5 s。

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