作者：宋一罡,解岩 单位：中国航空制造技术研究院 出版：《航空制造技术》2019年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKGJ2019080240 DOC编号：DOCHKGJ2019080249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于传统的位移传感器校准存在摩擦、空程等缺陷问题，提出了一种量程为0～3000mm高精度校准方案。该方案以激光干涉仪为基准，直线电机配合气浮导轨为驱动单元，创新型光栅实现闭环控制，使定位精度在3μm/m量级。位移传感器校准时，通过六个自由度的可调夹具，使位移传感器运动方向与标准测量方向在同一条直线上，可实现阿贝误差的最大化消除。尤其针对特殊的浮子式传感器校准，通过设计专用夹具配合支撑点消除变形的校准方式，解决了测杆在校准过程存在的形变难题。同时，校准装置不确定度的评定和验证，表明该校准方法可行有效。

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