作者：谭秋林,张文栋,刘俊,薛晨阳,熊继军 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2011年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2011010150 DOC编号：DOCNMJM2011010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过减薄、键合、抛光等技术加工成厚度达到10μm左右的超薄晶片，然后通过蒸金、黑化等处理技术将其制备成红外敏感元件.根据红外光谱吸收原理，为提高分辨率和选择性吸收性能，在敏感元件前段集成了窄带滤光片.制备的敏感元件与选用的窄带滤光片，以及CMOS放大器与电阻和电容各一个都被封装和集成在一个TO-18型管壳内，最终被设计加工成为单一通道的红外探测器，其滤光片可根据要求的波带范围进行更换.利用两个吸收波长分别为(3 310&#177；90)nm和(3 910&#177；60)nm的单元探测器，设计并制作了一个微型气体传感器.该气体传感器能实现检测一些烃类气体，文中对乙烯气体进行了实验测试，并进行了实验数据分析.分析结果表明：这种气体传感器具备较好的检测气体浓度的能力，能检测的最大量程为30 000&#215；10-6，达到分辨100&#215；10-6的检测能力，且具有较好的重复性。

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