作者：任冬梅,朱振宇,万宇,王少飞 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2011年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2011050030 DOC编号：DOCHKJC2011050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了用激光干涉方法对纳米力学测试系统位移传感器进行校准的方法，并建立了校准装置；采用平衡式光学系统设计，干涉系统的抗干扰能力得到了显著提高，通过零位移测量实验对装置的稳定性进行了验证；用校准装置对TriboIndenter纳米力学测试系统的位移传感器进行了校准实验，测量不确定度分析结果表明该系统测量压头位移的准确度可以达到纳米量级。

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