作者:孙稳稳,宋德杰 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2015年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2015100250 DOC编号:DOCCGQJ2015100259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 为了测量晶体生长过程中旋转籽晶的结晶界面温度,针对旋转籽晶不便布线的问题,提出了用单片机和PT2262/2272无线发射/接收芯片与热电偶结合设计温度无线传感器的新方法。设计制作了一种无线温度传感器,经安装试用获得成功。较好地解决了旋转籽晶结晶界面温度检测问题。对晶体整个生长过程中结晶界面温度进行了实时检测、存储和记录。为分析晶体生长缺陷,进一步提高晶体生长质量提供了第一手资料。

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