作者：薛长国,张广平,张青川,伍小平 单位：中国力学学会;中国科学技术大学 出版：《实验力学》2011年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYLX2011010050 DOC编号：DOCSYLX2011010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微悬臂梁传感技术是微纳传感技术研究的热点，仪器装置的研究也从单悬臂梁向微梁阵列的方向发展。本文针对间距为250μm的商品化微梁阵列，提出了一种实现对其弯曲变形的读出系统光路。利用高精度位移平台调节激光器空间位置，使光束实现微距离上平行，并分别照射在阵列梁的相邻微梁上。用位置敏感探测器对两个微悬臂梁尖端反射的激光信号进行检测，实现系统传感功能。实验验证该光路设计简单易行，针对这一方案实现了两个微梁的信号分离。在微梁上修饰对应的抗体，系统就可以对其抗原行检测。该方案对微梁多阵列传感器研制开发提出了一个新的思路。

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