《氦光泵磁敏传感器抽真空及精确充气系统的研究》PDF+DOC
作者:周志坚,程德福,王君,张振宇
单位:中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所
出版:《真空》2011年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKZK2011020270
DOC编号:DOCZKZK2011020279
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《氦光泵磁力仪中磁敏传感器的研制》PDF+DOC2009年第09期 周志坚,程德福,王君,张振宇,刘祥
氦磁敏传感器是氦光泵磁力仪的核心部件。其中氦光源的制作工艺直接影响整机的性能。为此建立一套抽真空及精确充气的设备。其中,抽真空部分主要由机械泵、涡轮分子泵和离子泵组成。通过高精度微漏阀和薄膜压力计实现精确充气。所制氦光源可利用高压发生器及高频振荡器来激励,并测试了其光谱。利用该设备成功研制出高性能的氦光源。该设备的成功研制为其他磁力仪的相关核心部件的研制提供了经验。
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