作者:刘琨 单位:机械部北京机械工业自动化研究所 出版:《制造业自动化》2011年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXGY2011010610 DOC编号:DOCJXGY2011010619 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 非本征珐布里-泊罗干涉传感器(EFPI)已经被证明适用于压力和温度的精确测量。我们介绍一种基于白光干涉仪的路径匹配完全测量方法。该系统从参考间隔到EFPI的感应间隔都适用。当这两个波长差在光源的相干长度内时,在系统输出中会产生一个强度包络。相应的路径失谐明确的指出传感器间隙的大小,压力便可以确定。这种应用大量EFPI传感器的多路技术的测量方法是可行的,并且给出四个多分复用设备的实验数据。文中也给出系统优化的理论设想。

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