作者:苗凤娟,陶佰睿,惠鹏飞 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》2011年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG2011030220 DOC编号:DOCBDTG2011030229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多孔硅光子晶体传感器的温敏特性研究》PDF+DOC2015年第12期 肖婧,钟福如 《基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测》PDF+DOC2016年第03期 陈位荣,贾振红,吕小毅,李鹏 《光子晶体传感器研究进展》PDF+DOC2019年第11期 焦卓隆,黄超,魏杰 《仿生结构一维光子晶体传感器的制备与应用》PDF+DOC2018年第03期 周玲,姜岚,张晓辉,王景宇,姜超,郭明 《一维光子晶体传输特性及其在光传感器中的应用》PDF+DOC2003年第11期 娄淑琴,王智,王目光,任国斌,裴丽,简水生 《塑料薄膜衬底上复合敏感膜热释电传感器的制备》PDF+DOC2002年第06期 李金华,袁宁一,陈王丽华 《热释电单元探测器的电压响应模拟》PDF+DOC2002年第04期 李格,袁宁一,李金华 《一维光子晶体传感器在液体测量方面的应用研究》PDF+DOC2011年第08期 李大海,孙晓红,刘国彬,臧克宽,陈素 《棱镜耦合光子晶体表面波及其传感特性研究》PDF+DOC2011年第04期 钱凌波,周骏,金理,林豪,高永锋 《一种多孔硅生物免疫传感器的研究》PDF+DOC2008年第12期 薛涛,吕小毅,贾振红,侯世斌,张富春
  • 在借助光刻等微电子工艺手段的基础上,通过控制交替变换的阳极氧化电流成功地制备出了阵列化的多孔硅一维光子晶体,然后在其表面沉积了一层500 nm Si3N4用于改善其表面粗糙度,使该结构更好地应用于热释电红外传感器之中。通过傅里叶红外反射谱(FTIR)测试证明该样品有较好的光学反射性能,探索了将这种阵列化的多孔硅一维光子晶体应用于制备高性能红外热释电传感器衬底的可行性。

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