作者：张宁,牛薇,徐冬,刘其中,汪洋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2011年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2011110330 DOC编号：DOCCGQJ2011110339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实现多参数综合测量，设计出一种小流量、压力、温度一体化传感器，该传感器主要由敏感元件和调理电路组成，信号输出采用0～5 V模拟输出。对传感器进行各项环境试验，试验结果表明：该传感器流量精度优于3%，压力精度优于0.2%，温度精度优于0.5%，流量热零点漂移小于0.2%FS/℃，压力热零点漂移小于0.1%FS/℃，满足使用要求。

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