作者:苗圃,李锋,张平,刘永顺,毕晓猛,吴一辉 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2011年第10期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2011100220 DOC编号:DOCGXJM2011100229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 为了制作高灵敏度Love波传感器,分析了Love波在ST-石英和二氧化硅薄膜分层结构中的传播特性,并对该分层结构进行了相关的理论推导和计算。首先,从声学动力学方程出发,分析求解了该分层结构的波动方程,得到了在该分层结构的色散关系及位移表达式。基于得到的解析表达式分析了波结构,绘制了特性曲线,得到了Love波在该结构中的传播特性。最后,应用MEMS工艺制作了由ST-石英为基底、二氧化硅为波导层的Love波传感器,并通过电化学微电铸的方法进行了实验验证,且对理论灵敏度与实验灵敏度之间不一致的原因进行了分析。测试数据显示,该传感器的质量灵敏度为100cm2/g,最低检出限为3.65ng,结果证明了该Love波传感器基本满足高灵敏度生化检测的要求。

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