作者：涂晟,王军波,商艳龙,陈德勇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2011年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2011080070 DOC编号：DOCCGJS2011080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高加速度传感器灵敏度，提出一种新的加速度敏感机制，并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数，并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子，提高器件性能的同时简化了制作工艺，利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性，实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明，加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。

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