《电容式边缘传感器的设计》PDF+DOC
作者:郑艳芳,许骏,李雪宝
单位:陕西电子杂志社;陕西省电子技术研究所
出版:《》
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDDJ2011020370
DOC编号:DOCXDDJ2011020379
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《单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统》PDF+DOC2008年第03期 郭斌,陈士清
《电容式液氢密度计冷冲击性能试验研究》PDF+DOC2015年第01期 张震,刘海生,韩卫济,陈静
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《电容式湿度计测量中的主要误差分析》PDF+DOC2006年第08期 蔡丽枝
《开放式柔性测控实验平台的设计与实现》PDF+DOC 李军,周杏鹏,祝学云
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《基于CAV444的电容式液位传感器设计》PDF+DOC2012年第05期 周燕
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电容测微方法能够检测到微小的位移变化,在此利用电容测微法设计制作电容式边缘传感器,该传感器可以用来检测拼接在一起或者相互平行的两平板之间的位置变化。给出了电容式边缘传感器的设计原理,传感器的主要结构以及设计过程中遇到的问题和解决方案。并在实验室进行了验证,给出了实验结果。实验结果换算到位移变化达到了检测到小于5 nm的位置变化的科研目标。该传感器可以广泛应用于拼接望远镜,法珀等天文仪器控制领域和其他工业控制领域。
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