作者：刘峥 单位：中国铸造协会;西安铸造学会 出版：《铸造技术》2015年第10期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZJS2015100110 DOC编号：DOCZZJS2015100119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以电气传感器用单晶硅为对象，研究其在TMAH溶液中的腐蚀现象，分析化学腐蚀条件下单晶硅的微观形貌演化。结果表明，在TMAH溶液中腐蚀后，单晶硅的倒金字塔结构中有刻蚀坑出现，且随着腐蚀时间的延长，倒金字塔结构的体积增大。单晶硅(111)晶面和(110)晶面的交界处出现的腐蚀畸变和硅原子密排结构的变化，是提高(111)面腐蚀速率的主要原因。

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