《发明与专利》PDF+DOC
作者:
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2015年第05期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2015050170
DOC编号:DOCCGSJ2015050179
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一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器申请号:201310656546【公开号】CN103616098A【公开日】2014.03.05【分类号】G01L1/16【申请日】2013.12.06【申请人】西安交通大学【发明人】李斯;梁旭;申胜平;徐明龙【摘要】一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器,包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件,在金属弹性元件的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜,周边设置有绝缘层,挠曲电介电薄膜上下表面分别设置有上金属电极和下金属电极,上下电极分别连接有两条输出测量电荷
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