作者：许高斌,朱华铭,陈兴 单位：中国电子学会 出版：《电子测量与仪器学报》2011年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZIY2011080110 DOC编号：DOCDZIY2011080119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用ICP体硅深加工，本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式，垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式，解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟，证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0 fF/g，量程为&#177；50 g。

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