作者：代吉祥,杨明红,程芸,曹坤,廖俊生,张鹏程 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2011年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2011070090 DOC编号：DOCGZXB2011070099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用磁控溅射方法在侧边抛磨的光纤光栅(D型光纤光栅)上溅射40 nm WO3-Pd复合薄膜，制作了D型光纤光栅氢气传感器.40 nm WO3-Pd复合薄膜是由5 nm的WO3、5 nm的WO3/Pd混合膜和30 nm的Pd薄膜组成.实验中，首先采用射频溅射技术向D型光纤光栅溅射5 nmWO3薄膜，再利用共溅射技术溅射5 nm WO3/Pd混合膜，最后用直流溅射技术溅射30 nm的Pd薄膜.SEM结果显示在多次通氢气后WO3-Pd薄膜仍然具有较好的表面形貌，这说明WO3-Pd复合薄膜具有较好的机械性能.实验结果表明：该氢气传感器具有较好的重复性，同镀有同样氢气敏感膜的普通FBG相比，D型光纤光栅的灵敏度提高了200%；在氢气体积浓度为6%时，D型光纤光栅传感器的波长变化为15pm。

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