作者：郑华银,石庚辰,孙韶春 单位：西安机电信息研究所;机电工程与控制国家级重点实验室;中国兵工学会 出版：《探测与控制学报》2011年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYX2011050020 DOC编号：DOCXDYX2011050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有MEMS微结构运动参数测试算法复杂、实验条件苛刻的问题，提出一种非接触式光电测试方法，采用高精密光反射型传感器进行信号探测，经信号处理后获得待测参数。实际测量表明：该方法的实测分辨力优于100μm，可对引信的微钟表机构、微滑块机构等的运动参数进行测试，结构简单，成本低廉，适用于引信微机构运动特性的测量。

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